特許
J-GLOBAL ID：200903067023194956
ステージ部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-343132
公開番号（公開出願番号）：特開2004-179353
出願日： 2002年11月27日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】熱膨張係数が低く、接合部に内部応力が残留せず、通常のセラミックスと同程度の剛性を有し、接合強度が高い低熱膨張セラミックスからなる軽量なステージ部材を提供する。【解決手段】β-ユークリプタイト50〜95質量%と炭化珪素5〜50質量%からなる低熱膨張セラミックス底板材1と箱蓋構造を有する同材質の上板材2とを、該板材よりも溶融温度の低い低熱膨張セラミックスからなる接合材で接合してステージ部材を構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも一方が箱蓋構造を有する低熱膨張セラミックス底板材と同材質の上板材とを、該板材よりも溶融温度の低い低熱膨張セラミックスからなる接合材で接合してなることを特徴とするステージ部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 K
, H01L21/30 503Z
5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA38
, 5F031HA53
, 5F046CC01
, 5F046CC02
