特許
J-GLOBAL ID:200903067373512179

隠されたマルチピース型ヒンジ構造を備えるマイクロミラーシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  宍戸 嘉一 ,  弟子丸 健 ,  井野 砂里
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-503868
公開番号(公開出願番号):特表2006-518884
出願日: 2004年02月24日
公開日(公表日): 2006年08月17日
要約:
隠された状態のマルチピース(組立形)ヒンジ構造体を有するマイクロミラーシステムが、反射用途に提供される。一般に、光は、三次元傾動並びに上下又は面外作動を行なうようになったこれら構造体によって反射される。本明細書において記載する種々の光学特徴を利用して光スイッチング、投射及び他の用途、特に光用途に用いられる小型化された制御性の高い解決策を提供するデバイスを製造することができる。
請求項(抜粋):
マイクロミラーデバイスであって、アドレス回路を含む電気部品を備えた基板と、マイクロミラーと、前記マイクロミラーの下に位置していて、前記基板と前記マイクロミラーを互いに連結する支持構造体とを有し、前記支持構造体は、各々が前記基板及び前記マイクロミラーに取り付けられた複数の撓み部材を有し、各撓み部材は、多数の回転軸線回りの前記マイクロミラーの回転及び前記基板への前記マイクロミラーの引き寄せを可能にするよう構成されていることを特徴とするデバイス。
IPC (2件):
G02B 26/08 ,  B81B 3/00
FI (2件):
G02B26/08 E ,  B81B3/00
Fターム (6件):
2H041AA13 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08
引用特許:
審査官引用 (9件)
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