物体の運動を検出するシステム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊東忠彦 , 大貫進介 , 伊東忠重
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-531837
公開番号（公開出願番号）：特表2009-509156
出願日： 2006年09月13日
公開日（公表日）： 2009年03月05日
要約：

本発明は、物体(2)の運動を検出するシステム(1)に係る。当該システムは、物体に対して結合される第1の細長い格子ストリップ(4)、及び、第1の細長い格子ストリップに交差する、別個の実質的に固定された第2の細長い格子ストリップ(5)を有する。当該システムは更に、物体の運動を検出するよう、第1及び第2の細長い格子ストリップにおいて回折される1つ又はそれより多い光ビームを受けるよう配置される光学検出手段(6)を有する。本発明は更に、物体(2)の運動を検出する方法、及び物体加工又は検査システムに係る。

請求項（抜粋）：

物体の運動を検出するシステムであって、前記物体に対して結合される第1の細長い格子ストリップと、該第1の細長い格子ストリップに交差する、別個の実質的に固定された第2の細長い格子ストリップと、を有し、更には、前記物体の運動を検出するために前記第1及び第2の細長い格子ストリップにおいて回折される1つ又はそれより多い光ビームを受けるよう配置される光学検出手段を有する、システム。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01B11/00 G , H01L21/66 Z

Fターム (19件)：

2F065AA03 , 2F065CC01 , 2F065CC19 , 2F065FF48 , 2F065HH04 , 2F065JJ00 , 2F065JJ05 , 2F065LL12 , 2F065LL16 , 2F065LL41 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065MM23 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA50 , 4M106CA70 , 4M106DH12 , 4M106DH32

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-142425
特開平2-093307
特開平4-032217

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