隣接比較検査法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-219164
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055817
出願日： 1998年08月03日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】一定のピッチで並設された相互に同一形状のパターンを画像処理により検査する際、従来の隣接比較検査法では相互に隣り合うパターン同士の画像データを合成して欠陥の有無を判定していたので、ピッチが画像処理の分解能の整数倍でなければ検査できない。そのため分解能を変更する必要があるが、外聞か伊能を変更する作業は繁雑であるため検査に長時間を要した。【解決手段】1つの画像データPα1から分解能の整数倍の距離離れた画像データPβ1と該Pα1とを合成して合成データDαβ1を求めて画像データの欠陥を検査するようにした。

請求項（抜粋）：

等間隔で並設された相互に同一形状の複数のパターンを撮像し、画像処理により得られた各パターンの画像データのうち、2個のパターンについての画像データを相互に比較し、両画像データの相違する部分をパターンの欠陥と認識する隣接比較検査法において、上記パターンのピッチが画像処理の分解能の整数倍でない場合に、相互間の距離が分解能の整数倍である2つのパターンの画像データを相互に比較して欠陥を認識するようにしたことを特徴とする隣接比較検査法。

IPC (5件)：

G01N 21/88 , G01M 11/00 , H01J 9/42 , H01J 11/02 , H01J 17/04

FI (5件)：

G01N 21/88 E , G01M 11/00 Z , H01J 9/42 A , H01J 11/02 B , H01J 17/04

Fターム (10件)：

2G051AA73 , 2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 5C012AA09 , 5C012BE03 , 5C040DD01

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-102846
特開平3-102846
パターン検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-002340 出願人：株式会社日立製作所

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