特許
J-GLOBAL ID：200903067449388936
レジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-193724
公開番号（公開出願番号）：特開平8-044061
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 新規な感放射線性レジスト組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、架橋剤および放射線の照射により酸を発生する成分を含有する組成物であって、アルカリ可溶性樹脂が狭分散性の水素添加フェノール樹脂であることを特徴とするレジスト組成物。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、架橋剤および放射線の照射により酸を発生する成分を含有する組成物であって、アルカリ可溶性樹脂が狭分散性の水素添加フェノール樹脂であることを特徴とするレジスト組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/004 503
, G03F 7/023 511
, G03F 7/028
, H01L 21/027
