特許
J-GLOBAL ID：200903067499769892

位置調整装置およびその方法

発明者：
大島 久慶

大島 久慶 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 柏木 慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-165687
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343215
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：
【要約】【課題】 ホログラム、ハウジング間の位置決めを高い精度で行えるようにする。【解決手段】 CCDカメラの視野W1で、ホログラムパターンの特異点またはホログラムに付けられたアライメントマークの座標(X1、Y1)を求める(ステップS1)。次に、視野W2で同様に座標(X2、Y2)を求める(ステップS3)。これらの結果から、ホログラムの傾きθ求める(ステップS4)。傾きθの値からθステージの調整量を演算し、この演算した調整量だけ、θステージを動かす(ステップS5,S6)。次に、視野W1で(ステップS7)、特異点またはアライメントマークの座標(X3、Y3)を求める(ステップS8)。このX3、Y3の値は、それぞれホログラムのx方向、y方向のずれ量となるものである。そして、この求めたずれ量からホログラムのXステージ、Yステージの調整量を演算し、その調整量だけXステージ、Yステージを動かす(ステップS9、S10)。
請求項（抜粋）：
第1の対象物と第2の対象物との間の位置決めをする位置調整装置において、前記第2の対象物を支持する第1の支持部材と、前記第1の対象物を支持する第2の支持部材と、この支持されている第1の対象物の位置を可変する位置調整装置と、前記第1の対象物を撮像する第1の撮像装置と、この第1の撮像装置を移動して前記撮像の視野を可変する第1の視野可変装置と、前記第1の撮像装置および前記第1の視野可変装置を制御して複数の前記視野で前記第1の対象物の所定の目印の位置を検出する第1の検出手段と、この検出結果に基づいて前記第1の対象物の位置または傾きの少なくとも一方の調整量を演算する演算手段と、この演算された調整量に基づいて前記位置調整装置を制御して前記第2の対象物に対する前記第1の対象物の位置または傾きの少なくとも一方を調整する調整手段と、を備えていることを特徴とする位置調整装置。
IPC (7件)：
G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G02B 5/32 ,  G02B 7/00 ,  G02B 21/36 ,  G11B 7/08 ,  G11B 7/22
FI (7件)：
G01B 11/00 H ,  G01B 11/26 H ,  G02B 5/32 ,  G02B 7/00 D ,  G02B 21/36 ,  G11B 7/08 A ,  G11B 7/22
Fターム (42件)：
2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065AA35 ,  2F065BB02 ,  2F065BB22 ,  2F065BB27 ,  2F065CC21 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065LL33 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ28 ,  2H043AD04 ,  2H043AD11 ,  2H043AD19 ,  2H049CA01 ,  2H049CA05 ,  2H049CA07 ,  2H049CA20 ,  2H052AC05 ,  2H052AD04 ,  2H052AD06 ,  2H052AD19 ,  2H052AD20 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25 ,  5D117AA02 ,  5D117CC07 ,  5D117KK01 ,  5D117KK02 ,  5D117KK17 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119DA20 ,  5D119NA02
引用特許：
審査官引用 (6件)
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