薄状部材のハンドリング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-181196
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009766
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】ハンドリング対象の局部を機構的な支持部材で支持し、ハンドリング対象の主要部分は静電気力により非接触な状態でハンドリングすることができる薄状部材のハンドリング装置を提供する。【解決手段】薄状部材のハンドリング装置において、薄状部材102を浮上させるための静電気力を発生させる電極101を有する固定子100と、この固定子100の電極部分に配置され、その電極部分の面と前記薄状部材102とのギャップを検出する位置センサ103と、前記固定子100の一部に配置される機構的支持部材105とを備え、前記薄状部材102の主要部を外した局所を前記機構的支持部材105により補助的に支持する。

請求項（抜粋）：

薄状部材のハンドリング装置において、(a)前記薄状部材を浮上させるための静電気力を発生させる電極を有する固定子と、(b)該固定子の電極部分に配置され、該電極部分の面と前記薄状部材とのギャップを検出する位置センサと、(c)前記固定子の一部に配置される機構的支持部材とを備え、(d)前記薄状部材の主要部を外した局所を前記機構的支持部材により補助的に支持することを特徴とする薄状部材のハンドリング装置。

IPC (2件)：

B25J 15/06 , H02N 13/00

FI (3件)：

B25J 15/06 S , B25J 15/06 Z , H02N 13/00 D

Fターム (8件)：

3F061AA01 , 3F061CA00 , 3F061CB05 , 3F061CC00 , 3F061DB00 , 3F061DB04 , 3F061DB06 , 3F061DD02

引用特許：

審査官引用 (10件)

静電吸着体と静電吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-037559 出願人：株式会社日立製作所
静電浮上チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-314516 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 大隅雄三郎
静電浮上力発生機構及びこれを用いた静電チャック装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-029490 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 大隅雄三郎

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