特許
J-GLOBAL ID：200903091417281097
静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-185112
公開番号（公開出願番号）：特開2004-031599
出願日： 2002年06月25日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】液晶ガラス、SOS(シリコンオンサファイア)、SOI(シリコンオンインシュレータ)等の絶縁性をもつ被吸着物を高い吸着力で保持できる静電チャックを提供する。【解決手段】絶縁性基板3の一方の主面に静電電極2を備え、他方の主面に前記静電電極2へ通電する給電端子6を備えて静電チャック1を構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
絶縁性基板の一方の主面に静電電極を備え、他方の主面に前記静電電極へ通電する給電端子を備えたことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA02
, 5F031HA17
, 5F031HA18
, 5F031MA28
, 5F031MA29
, 5F031MA31
, 5F031MA32
, 5F031PA14
, 5F031PA26
, 5F031PA30
