特許

J-GLOBAL ID：200903068181890249

画像形成方法、及び荷電粒子線装置

発明者： 小原 篤 ,  諸熊 秀俊 ,  川田 洋揮 ,  高見 尚 ,  笹田 勝弘 ,  山本 浩一 ,  佐藤 典夫 ,  中西 邦夫
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-338009
公開番号（公開出願番号）：特開2007-059370
出願日： 2005年11月24日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】本発明は、二次元領域を荷電粒子線走査する際の帯電の偏りを、抑制するのに好適な画像形成方法及び荷電粒子線装置の提供を目的とするものである。【解決手段】本発明では、第1の走査線と第2の走査線との間に、第3の走査線を走査させ、当該第1の走査線と第3の走査線との間、及び第2の走査線と第3の走査線との間で、前記第1,第2、及び第3の走査線が走査された後に、複数本の走査線を走査する方法、及び装置を提案する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料上の二次元領域に対し、荷電粒子線を走査して当該走査領域の画像を形成する画像形成方法において、 第1の走査線と第2の走査線との間に、第3の走査線を走査させ、当該第1の走査線と第3の走査線との間、及び第2の走査線と第3の走査線との間で、前記第1,第2、及び第3の走査線が走査された後に、複数本の走査線を走査することを特徴とする画像形成方法。

IPC (3件)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/147 ,  G01B 15/00

FI (3件)：

H01J37/22 502B ,  H01J37/147 B ,  G01B15/00 K

Fターム (13件)：

2F067AA26 ,  2F067EE14 ,  2F067HH06 ,  2F067HH08 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067QQ02 ,  2F067QQ11 ,  2F067RR12 ,  2F067RR13 ,  2F067SS02 ,  5C033FF03 ,  5C033UU01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-377770   出願人：日本電子株式会社

審査官引用 (7件)

• 特開平2-139844
  
• 画像取得装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-103314   出願人：株式会社東芝
• 荷電粒子描画装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-271558   出願人：日本電気株式会社
• 走査像形成方法および走査像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-201162   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭62-020228
  
• 特開昭61-066352
  
• 荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-377770   出願人：日本電子株式会社