荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム観察方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-377770
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142038
出願日： 2003年11月07日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】絶縁試料に対し、走査全体に要する時間と走査により得られる画像情報量が従来の連続走査と同様の元で、帯電の無い、或いは帯電の少ない状態で試料の荷電粒子ビーム像を得る。【解決手段】観察倍率とその観察倍率で試料上を電子ビーム走査した時に試料に帯電が発生しない飛び越し走査線数の組み合わせが複数組記憶されたテーブル26を設ける。試料観察時、倍率制御回路12は偏向制御回路10に倍率コントロール信号を送り、制御装置26はテーブル26から観察倍率に応じた飛び越し走査線数を呼び出して、偏向制御回路10に供給し、電子ビームで試料上を二次元的に飛び越し走査させる。この走査は(飛び越し線数+1)回行い、各回の走査は互いに試料上で重複しない様する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームで試料上を二次元的に走査し、該走査により検出された試料からの荷電粒子ビームに基づく信号により表示装置に試料の荷電粒子ビーム像を表示させるように成した荷電粒子ビーム装置において、観察倍率と該観察倍率で試料上を荷電粒子ビーム走査した時に試料に帯電が発生しない飛び越し走査線数の組み合わせが複数組記憶されたテーブルを設け、該テーブルから呼び出した試料の観察倍率に応じた飛び越し走査線数に基づいて荷電粒子ビームで試料上を二次元的に飛び越し走査出来るように成した荷電粒子ビーム装置。

IPC (7件)：

H01J37/147 , G01N23/225 , G01R31/302 , G21K1/087 , G21K5/04 , H01J37/22 , H01L21/66

FI (8件)：

H01J37/147 B , G01N23/225 , G21K1/087 S , G21K5/04 C , G21K5/04 M , H01J37/22 502B , H01L21/66 J , G01R31/28 L

Fターム (30件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001FA06 , 2G001GA03 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001JA03 , 2G001JA07 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001JA20 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G132AA00 , 2G132AE22 , 2G132AF06 , 2G132AF13 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA02 , 4M106CA40 , 4M106DB05 , 4M106DE04 , 4M106DE08 , 4M106DE11 , 4M106DH33 , 4M106DJ23 , 5C033FF03 , 5C033UU01

引用特許：

出願人引用 (1件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-142876 出願人：松下電子工業株式会社

審査官引用 (6件)

荷電粒子描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-271558 出願人：日本電気株式会社
特開平2-139844
集束荷電粒子線装置及びその制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-198059 出願人：富士通株式会社

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