特許
J-GLOBAL ID：200903068263285513

表面反射防止塗布組成物

発明者：
西 峰雄

西 峰雄 について

, 
牧島 秀夫

牧島 秀夫 について


出願人/特許権者：
三菱化学株式会社

三菱化学株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-301930
公開番号（公開出願番号）：特開平7-160002
出願日： 1993年12月01日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 フォトレジストの反射防止膜として好適な、低屈折率(1.45以下)であり、水媒体にて塗布、除去ができ、且つ、塗布後の膜面維持が良好で残渣(スカム)等の問題も発生しない表面反射防止塗布組成物を提供する。【構成】 水溶性ポリマー、水溶性フッ素化合物及び水を主成分とする表面反射防止塗布組成物において、水溶性ポリマーがポリビニルピロリドンであり、且つ水溶性フッ素化合物が、ペルフルオロオクタンスルホン酸のモノ乃至テトラアルキルアンモニウム塩、又は、ペルフルオロオクタンスルホン酸とペルフルオロオクタンスルホン酸のモノ乃至テトラアルキルアンモニウム塩との混合物である表面反射防止塗布組成物。
請求項（抜粋）：
水溶性ポリマー、水溶性フッ素化合物及び水を主成分とする表面反射防止塗布組成物において、?@水溶性ポリマーがポリビニルピロリドンであり、且つ?A水溶性フッ素化合物が、ペルフルオロオクタンスルホン酸のモノ乃至テトラアルキルアンモニウム塩、又は、ペルフルオロオクタンスルホン酸とペルフルオロオクタンスルホン酸のモノ乃至テトラアルキルアンモニウム塩との混合物であることを特徴とする表面反射防止塗布組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/11 501 ,  H01L 21/027
引用特許：
審査官引用 (4件)
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