被加工物のエッジ検出装置およびレーザー加工機

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-325742
公開番号（公開出願番号）：特開2009-145292
出願日： 2007年12月18日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：

【課題】装置全体を小型化することができる被加工物のエッジ検出装置およびエッジ検出装置を装備したレーザー加工機を提供する。【解決手段】加工機のチャックテーブルに保持された被加工物のエッジを検出する被加工物のエッジ検出装置であって、検出用ビームを発振するビーム発振手段と、ビーム発振手段から発振された検出用ビームを集光する対物レンズと、対物レンズを通して照射された検出用ビームの反射光を検出する反射光検出手段とを具備し、ビーム発振手段は検出用ビームの光軸を対物レンズの中心軸と平行に中心軸からオフセットした位置に発振し、反射光検出手段は対物レンズを通して照射された検出用ビームが被加工物が存在しない領域で反射し対物レンズによって屈折する反射光と被加工物で反射し対物レンズによって屈折する反射光の変移に基づいて被加工物のエッジを検出する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

加工機のチャックテーブルに保持された被加工物のエッジを検出する被加工物のエッジ検出装置であって、検出用ビームを発振するビーム発振手段と、該ビーム発振手段から発振された検出用ビームを集光する対物レンズと、該対物レンズを通して照射された検出用ビームの反射光を検出する反射光検出手段とを具備し、該ビーム発振手段は、検出用ビームの光軸を該対物レンズの中心軸と平行に該中心軸からオフセットした位置に発振し、該反射光検出手段は、該ビーム発振手段によって発振され該対物レンズを通して照射された検出用ビームが、被加工物が存在しない領域で反射し該対物レンズによって屈折する反射光と被加工物で反射し該対物レンズによって屈折する反射光の変移に基づいて被加工物のエッジを検出する、ことを特徴とする被加工物のエッジ検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , B23K 26/03 , B28D 5/00

FI (3件)：

G01B11/00 A , B23K26/03 , B28D5/00 Z

Fターム (17件)：

2F065AA12 , 2F065FF44 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065JJ00 , 2F065LL04 , 2F065LL30 , 2F065PP12 , 3C069AA01 , 3C069BA08 , 3C069BB03 , 3C069CA03 , 3C069CA06 , 3C069CB02 , 4E068CA14 , 4E068CB09 , 4E068CC01

引用特許：

出願人引用 (1件)

酸化物単結晶からなる母材の加工方法、機能性デバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-220320 出願人：日本碍子株式会社

審査官引用 (5件)

基板から素子を切り取る装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-373955 出願人：ニュー・ウェーブ・リサーチ
特開昭62-027613
特開昭62-133304

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