特許
J-GLOBAL ID：200903068347147663

微細表面構造をもつ物品の製造方法

発明者：
梅木 和博

梅木 和博 について


出願人/特許権者：
リコー光学株式会社

リコー光学株式会社 について


代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-391400
公開番号（公開出願番号）：特開2002-192500
出願日： 2000年12月22日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：
【要約】【課題】 生産の工程を簡素化して高精度の表面3次元構造を再現性よく、安価に製造する。【解決手段】 この金型2aの表面を離型処理し、その上に紫外線硬化型樹脂6を塗布し、その上からシランカップリング処理を施した目的製品材料8をゆっくりと押し当てる。目的製品材料基板.8の裏面側から均一な紫外線光を照射して紫外線硬化型樹脂層6を硬化させる。紫外線硬化型樹脂層6aを目的製品材料基板8に接合したまま金型2aを剥離する。目的製品材料基板8上の樹脂層6aの転写形状をドライエッチング法により目的製品材料基板8に転写する。
請求項（抜粋）：
以下の工程(A)から(E)を備えて微細表面構造をもつ物品を製造する製造方法。(A)表面に微細形状をもつ金型の表面に離型処理を施す工程、(B)離型処理の施された前記金型表面に硬化可能な樹脂を介して目的製品材料を押し当てて、前記金型の表面形状の反転形状を前記樹脂に転写する工程、(C)前記樹脂を硬化させる工程、(D)前記樹脂を前記目的製品材料に接合させた状態でその樹脂を前記金型から剥離させる工程、及び(E)前記樹脂に転写された形状をドライエッチング法によって前記目的製品材料に転写する工程。
IPC (10件)：
B81C 5/00 ,  B44C 1/20 ,  B44C 1/22 ,  C03C 15/00 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/18 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/24
FI (12件)：
B81C 5/00 ,  B44C 1/20 B ,  B44C 1/22 B ,  C03C 15/00 A ,  C03C 15/00 D ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 3/00 A ,  G02B 5/18 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/24 Z
Fターム (19件)：
2H049AA03 ,  2H049AA18 ,  2H049AA33 ,  2H049AA36 ,  2H049AA37 ,  2H097AA03 ,  2H097AA16 ,  2H097BA06 ,  2H097CA16 ,  2H097CA17 ,  2H097FA02 ,  2H097LA15 ,  2H097LA17 ,  2H097LA20 ,  4G059AA11 ,  4G059AB01 ,  4G059AC30 ,  4G059BB01 ,  4G059BB13
引用特許：
審査官引用 (8件)
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