特許
J-GLOBAL ID:200903068347400989

磁気ランダムアクセスメモリ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-116387
公開番号(公開出願番号):特開2003-309251
出願日: 2002年04月18日
公開日(公表日): 2003年10月31日
要約:
【要約】【課題】 MRAMのTMR素子に書き込み磁界を効率よく作用させる。【解決手段】 TMR素子23の直下には、書き込みワード線20Bが配置される。書き込みワード線20Bは、X方向に延び、その下面は、高透磁率を有するヨーク材25Bにより覆われている。TMR素子23の直上には、データ選択線(読み出し/書き込みビット線)24が配置される。データ選択線24は、X方向に交差するY方向に延び、その上面は、高透磁率を有するヨーク材27により覆われている。書き込み動作時、書き込みワード線20B及びデータ選択線24に流れる書き込み電流により発生する磁界は、ヨーク材25B,27により、効率よく、TMR素子23に作用する。
請求項(抜粋):
半導体基板の上部に形成され、磁気抵抗効果を利用してデータを記憶するメモリセルと、前記メモリセルの直下に配置され、第1方向に延びる第1書き込み線と、前記メモリセルの直上に配置され、前記第1方向に交差する第2方向に延びる第2書き込み線と、前記第2書き込み線の表面の一部のみを覆う第1ヨーク材とを具備することを特徴とする磁気ランダムアクセスメモリ。
IPC (2件):
H01L 27/105 ,  H01L 43/08
FI (2件):
H01L 43/08 Z ,  H01L 27/10 447
Fターム (16件):
5F083FZ10 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA60 ,  5F083KA01 ,  5F083KA05 ,  5F083MA05 ,  5F083MA06 ,  5F083MA16 ,  5F083MA19 ,  5F083NA01 ,  5F083PR40 ,  5F083ZA21
引用特許:
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る