特許
J-GLOBAL ID:200903068389092290
ペロブスカイト型酸化物とその製造方法、圧電体膜、圧電素子、液体吐出装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-005314
公開番号(公開出願番号):特開2008-195603
出願日: 2008年01月15日
公開日(公表日): 2008年08月28日
要約:
【課題】特に非鉛系に有効な圧電性能に優れたペロブスカイト型酸化物を提供する。【解決手段】下記一般式(PX)で表される組成を有するペロブスカイト型酸化物の製造方法において、下記式(1)〜(3)の関係を充足する条件で、組成を決定する。 A(B,C)O3・・・(PX)(式(PX)中、A:Aサイト元素であり、Biを主成分とする少なくとも1種の金属元素、B,C:Bサイト元素であり、各々1種又は複数種の金属元素、Oは酸素原子。B及びCは互いに異なる組成である。)、 0.98<TF(PX)<1.01・・・(1)、 TF(ABO3)>1.0・・・(2)、 TF(ACO3)<1.0・・・(3)(式(1)〜(3)中、TF(PX)は上記一般式(PX)で表される酸化物の許容因子、TF(ABO3)及びTF(ACO3)はそれぞれ()内に記載の酸化物の許容因子である。)【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記一般式(PX)で表される組成を有するペロブスカイト型酸化物の製造方法において、下記式(1)〜(3)の関係を充足する条件で、組成を決定することを特徴とするペロブスカイト型酸化物の製造方法。
A(B,C)O3・・・(PX)
(式(PX)中、A:Aサイト元素であり、Biを主成分とする少なくとも1種の金属元素、B,C:Bサイト元素であり、各々1種又は複数種の金属元素、Oは酸素原子。B及びCは互いに異なる組成である。
0.98<TF(PX)<1.01・・・(1)、
TF(ABO3)>1.0・・・(2)、
TF(ACO3)<1.0・・・(3)
(式(1)〜(3)中、TF(PX)は上記一般式(PX)で表される酸化物の許容因子、TF(ABO3)及びTF(ACO3)はそれぞれ()内に記載の酸化物の許容因子である。)
IPC (11件):
C01G 29/00
, H01L 41/09
, H01L 41/24
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, C01G 49/00
, C01G 51/00
, C01B 33/12
, C04B 35/00
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (13件):
C01G29/00
, H01L41/08 C
, H01L41/08 J
, H01L41/22 A
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101J
, H01L41/18 101Z
, C01G49/00 A
, C01G51/00 A
, C01B33/12 C
, C01B33/12 A
, C04B35/00 J
, B41J3/04 103A
Fターム (41件):
2C057AF51
, 2C057AG44
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 4G002AA06
, 4G002AB01
, 4G002AE05
, 4G030AA10
, 4G030AA11
, 4G030AA12
, 4G030AA13
, 4G030AA15
, 4G030AA16
, 4G030AA20
, 4G030AA26
, 4G030AA27
, 4G030AA28
, 4G030AA30
, 4G030AA34
, 4G030AA36
, 4G030AA37
, 4G030AA43
, 4G030BA10
, 4G030CA01
, 4G030CA08
, 4G030GA01
, 4G030GA09
, 4G048AA03
, 4G048AB01
, 4G048AC01
, 4G048AD02
, 4G048AE05
, 4G072AA38
, 4G072BB09
, 4G072GG02
, 4G072GG03
, 4G072HH33
, 4G072JJ09
, 4G072NN30
, 4G072TT30
, 4G072UU30
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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引用文献:
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