特許

J-GLOBAL ID：200903068439183666

イオン源装置及びそのための電子エネルギー最適化方法

発明者： 村田 裕彦 ,  佐藤 正輝
出願人/特許権者： 住友イートンノバ株式会社
代理人 (3件)： 萼 経夫 ,  宮崎 嘉夫 ,  小野塚 薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-169316
公開番号（公開出願番号）：特開2005-005197
出願日： 2003年06月13日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】不要な水素イオンを低減して重イオンの生成率の向上を図ると共に、高周波イオン源の効率化・能率化を達成すること。【解決手段】イオン源装置1のプラズマ室内において、アンテナ要素10を挟んで配置されかつ磁石要素6及びアンテナ要素10に対して水平及び垂直方向に相対移動可能な少なくとも一組のアンテナ対向磁石20と、アンテナ要素10の出力に基づく電界と、このアンテナ要素10を横切るアンテナ対向磁石20の磁界により、アンテナ要素の周囲に高濃度の電子発生領域を形成するように、プラズマ室内において、アンテナ要素10に対するアンテナ対向磁石20の位置を調整するための制御手段とを有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

イオン源ガスの供給口を有するプラズマ室と、高周波電源から供給される高周波電圧により前記プラズマ室内にプラズマを生成するためのアンテナ要素と、前記プラズマ室の壁面の周囲に配置されて前記プラズマを閉じ込めるカスプ磁場を形成する複数の磁石要素と、前記プラズマからイオンビームを引き出すための複数の電極からなる引出電極系とを備えるイオン源装置であって、 前記プラズマ室内において、前記アンテナ要素に対向配置されかつ前記磁石要素及び前記アンテナ要素に対して水平方向及び垂直方向に相対移動可能な少なくとも一組のアンテナ対向磁石と、 前記アンテナ要素の出力に基づく電界と、このアンテナ要素を横切る前記アンテナ対向磁石の磁界により、前記アンテナ要素の周囲に高濃度の電子発生領域を形成するように、前記プラズマ室内において、前記アンテナ要素に対する前記アンテナ対向磁石の位置を調整するための制御手段とを有することを特徴とするイオン源装置。

IPC (5件)：

H01J27/18 ,  H01J37/08 ,  H01L21/265 ,  H05H1/11 ,  H05H1/46

FI (6件)：

H01J27/18 ,  H01J37/08 ,  H01L21/265 603A ,  H05H1/11 ,  H05H1/46 L ,  H01L21/265 F

Fターム (4件)：

5C030DD01 ,  5C030DE07 ,  5C030DE08 ,  5C030DE10

引用特許：

審査官引用 (5件)

• イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-364663   出願人：石川島播磨重工業株式会社
• 高周波イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-227701   出願人：日新電機株式会社
• イオン源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-153366   出願人：日新電機株式会社
• イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-018071   出願人：石川島播磨重工業株式会社
• 特開平4-262349