感放射線性誘電率変化性組成物、誘電率変化法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-233520
公開番号（公開出願番号）：特開2003-043682
出願日： 2001年08月01日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】材料の誘電率変化を簡易な方法で行うとともに、その変化した誘電率差が十分大きな値となり、しかもその後の使用条件によらずに安定な誘電率パターンや光学材料を与えることができる感放射線性、誘電率変化性組成物を提供すること。【解決手段】 (A)分解性重合体、(B)非分解性重合体、(C)感放射線分解剤および(D)安定化剤を含有する、感放射線性誘電率変化性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)分解性化合物、(B)非分解性化合物、(C)感放射線分解剤および場合により(D)安定化剤を含有することを特徴とする、感放射線性誘電率変化性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 521 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027 , H01L 23/12

FI (4件)：

G03F 7/004 521 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R , H01L 23/12 B

Fターム (17件)：

2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025BH00 , 2H025CB20 , 2H025CB32 , 2H025CB51 , 2H025CC20 , 2H025FA29

引用特許：

審査官引用 (19件)

特開平3-107164
ホログラフィ媒体およびプロセス
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-542488 出願人：ポラロイドコーポレイション
ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-240537 出願人：富士写真フイルム株式会社

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