特許
J-GLOBAL ID：200903068587527757

パターン形成体の検査方法

発明者：
山本 学

山本 学 について

, 
岡部 将人

岡部 将人 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 山下 昭彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-319391
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121384
出願日： 2001年10月17日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 濡れ性の異なるパターンを形成した場合に適用することができ、かつ従来の検査装置を適用することが可能であることから容易に濡れ性の異なるパターンの欠陥を検出することができるパターン形成体の検査方法を提供する。【解決手段】 基材表面に親液性領域と撥液性領域とからなる濡れ性パターンを有するパターン形成体を準備する工程と、上記親液性領域に検査液を付着させる工程と、上記親液性領域に付着した検査液を検査する工程とを有するパターン形成体の検査方法を提供する。
請求項（抜粋）：
基材表面に親液性領域と撥液性領域とからなる濡れ性パターンを有するパターン形成体を準備する工程と、前記親液性領域に検査液を付着させる工程と、前記親液性領域に付着した検査液を検査する工程とを有することを特徴とするパターン形成体の検査方法。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  G01M 11/00
FI (2件)：
G01N 21/956 Z ,  G01M 11/00 T
Fターム (9件)：
2G051AA41 ,  2G051AB07 ,  2G051AC11 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051EB01 ,  2G086EE05
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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