2次元配列型共焦点光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-294976
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118446
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】本発明は、走査機構を持たずに共焦点画像を得ることができる全画素同時露光タイプの共焦点撮像系である2次元配列型共焦点撮像系におけるスペックル発生の防止を目的とする。【解決手段】従来必要であったピンホールアレイをなくし、マイクロレンズアレイ6の集光能力と、結像レンズ12の後ろ側焦点に設けた絞り13により代替させるように構成する。

請求項（抜粋）：

インコヒーレント光源1と、前記インコヒーレント光源1から射出された照明光を平行光とするコリメーターレンズ4と、前記コリメーターレンズ4から射出された照明光を集光してインコヒーレント光源1の像を各マイクロレンズ毎に結像するマイクロレンズアレイ6と、前記マイクロレンズアレイ6により結像されたインコヒーレント光源1の像を物体Aに投影する対物レンズ8と、物体Aで反射し、再び対物レンズ8とマイクロレンズアレイ6を通過した反射光を照明光の光路と分岐させる光路分岐光学素子5と、マイクロレンズアレイ6の像を2次元検出器14上に結像させる結像レンズ12と、結像レンズ12の後ろ側焦点位置に置かれた絞り13と、結像されたマイクロレンズアレイ6の像を光電変換する2次元検出器14とにより構成されることを特徴とする2次元配列型共焦点光学装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G02B 3/00 , G02B 7/28

FI (3件)：

G01B 11/24 Z , G02B 3/00 A , G02B 7/11 H

引用特許：

審査官引用 (5件)

2次元配列型共焦点光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-094682 出願人：株式会社高岳製作所
立体形状計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-308587 出願人：株式会社高岳製作所
光検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-157560 出願人：エヌティエヌ株式会社

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