特許
J-GLOBAL ID：200903068756665285
振動ピックアップの校正装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯沼 義彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179576
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351958
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 マイケルソン干渉計を用いた振動ピックアップの動的変位計の校正の精度向上をはかる。【解決手段】 振動ピックアップの取付け部に取り付けたピックアップ10Aから送られた電気信号を電圧Vaとして表示する電圧計12を設け、マイケルソン干渉計による干渉縞計測法に基づいて比カウンタ20で上記振動の振幅a0を算出し、ピックアップ10Aの感度SA=Va/a0を演算装置29で演算することで動的変位計の感度を精度よく計測できるようにした。
請求項（抜粋）：
発振器と、同発振器で加振されるとともに振動ピックアップの取付け部を有する加振機と、レーザ発振器と、同レーザ発振器から発光されたレーザ光を反射すべく上記ピックアップの取付け部に設けた振動鏡と、上記のレーザ光と振動鏡で反射された上記レーザ光との干渉で生成された干渉縞の数を検出する検出部を有するマイケルソン干渉計と、上記取付け部に取り付けられた動的変位計の上記加振機の振動時における出力電圧Vaを計測する電圧計とをそなえ、上記干渉縞の数を計測する干渉縞計測法および上記干渉縞の消失点の上記振動鏡の振幅を算出する零点法に基づいて算出された上記振動の振幅a0と上記電圧計の出力電圧Vaとに基づいて当該動的変位計の感度SAを算出する演算装置をそなえたことを特徴とする、振動の動的変位計の校正装置。
引用特許：
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