特許
J-GLOBAL ID：200903068803535026
マスクブランクスとその製造方法及び使用方法、並びにマスクとその製造方法及び使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀口 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-085976
公開番号（公開出願番号）：特開2006-267595
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 絶縁体であるガラスマスクブランクス及びマスクにおいて、静電チャックの適用を可能とし、発塵がなく、帯電防止とパーティクル付着防止を可能とする。【解決手段】 マスクブランクスに透明性導電膜の付与、若しくは金属イオンのドーピングにより導電層を形成することにより、十分な保持力を有する静電チャックの適用が可能であり、究極的な計測精度でマスクブランクスの表裏面形状の同時検査を可能とし、発塵が極めて少なく、帯電防止とパーティクル付着防止が可能なマスクブランクスとその製造方法及び使用方法、並びにこれを用いたマスクとその製造方法と使用方法を提供することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
非晶質若しくは結晶性材料を母材とするマスクブランクスにおいて、前記母材が透明且つ導電性を有していることを特徴とするマスクブランクス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/08 A
, H01L21/30 502P
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (12件)
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