特許

J-GLOBAL ID：200903068835159069

プロセスの異常診断方法及び装置

発明者： 森永 耕二 ,  無敵 幸二
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-327714
公開番号（公開出願番号）：特開平11-161327
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 個々のセンサーの検出値の異常にとらわれず、プロセスの異常を判定する方法および装置を提供することを目的とする。【解決手段】 プロセスの複数の状態量を検出し、該複数の状態量の各々の状態量についてそれ自身を除いた残りの複数の状態量を用いて予測値を算出し、各々の状態量の検出値とそれぞれに対応する予測値の差の絶対値を予測値の有する誤差の標準偏差で除算する事により同一の範囲に分布するように正規化した出力値を算出し、該正規化された出力値の複数の状態量についてのプロセス毎の平均値を予め定めた判定値と比較することにより、センサーの故障等の機器の異常と区別してプロセスの異常の有無を判定する。

請求項（抜粋）：

プロセスの複数の状態量を検出し、その結果に基づいてプロセスの異常の有無を診断する異常診断方法において、前記複数の状態量の各々についてそれ自身を除いた残りの検出された状態量を用いて予測値を算出し、検出された各々の状態量のそれぞれについて対応する前記状態量の予測値との差の絶対値を予測値の有する誤差の標準偏差で除算する事により同一の範囲に分布するように正規化した出力値を算出し、該複数の状態量についてこの出力値の平均値を求め、これを予め定めた判定値と比較することによりプロセスの異常の有無を判定することを特徴とするプロセスの異常診断方法。