特許
J-GLOBAL ID：200903068949709646
オゾン発生設備及びその運転方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-360991
公開番号（公開出願番号）：特開2001-180915
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：
【要約】【課題】 PSA法による酸素発生装置で発生させた酸素ガスを放電式のオゾン発生装置に送給して高濃度オゾンガスを発生させる場合のオゾン濃度を安定させる。【解決手段】 オゾン発生装置で200g-O3 /Nm3 以上の高濃度オゾンガスを発生させる場合、酸素発生装置では流量を低下させることにより、95%以上の高濃度の酸素ガスを発生させ、酸素ガス中から一旦N2 ガスを排除する。オゾン発生装置に供給される酸素ガス中のN2 濃度が0.5〜5%となるよう、発生させた酸素ガスに別途N2 ガスを添加してから、その酸素ガスをオゾン発生装置に供給する。オゾン発生装置に供給される酸素ガス中のN2 濃度がオゾン濃度に応じた適正濃度に厳密に管理され、オゾン濃度が安定する。
請求項（抜粋）：
圧力変動吸着法により空気から窒素を吸着分離して濃縮した酸素ガスを原料ガスとして放電式のオゾン発生装置に送給してオゾンガスを発生させるオゾン発生設備本体と、酸素発生装置からオゾン発生装置に送給される酸素ガスにオゾン発生促進効果のある促進ガスを定常的及び/又は限定的に添加するガス添加装置とを具備することを特徴とするオゾン発生設備。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 13/11 L
, B01D 53/04 B
4D012CA05
, 4D012CB16
, 4D012CD07
, 4D012CE01
, 4D012CF05
, 4D012CG01
, 4D012CH10
, 4G042CA01
, 4G042CB01
, 4G042CB03
, 4G042CB23
, 4G042CC11
, 4G042CE04
