成膜方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-066466
公開番号（公開出願番号）：特開2003-264188
出願日： 2002年03月12日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【課題】ペロブスカイト構造を持つ機能酸化膜をCVD法によって微細立体構造上に均一な組成で堆積する。【解決手段】気相有機金属CVD法によるペロブスカイト機能酸化膜形成において、Aサイト元素の原料とBサイト元素の原料と酸化剤とを交互に一定量ずつ供給することにより、それぞれの酸化分解に対して、最適な酸化剤量を均一に供給する。Aサイト元素とBサイト元素の堆積量を微細構造上においても一定として、所望の組成の膜を均一に得る。

請求項（抜粋）：

ペロブスカイト構造を持つ酸化膜の成膜方法であって、Aサイト元素を含む原料を供給するステップと、酸化剤を供給するステップと、Bサイト元素を含む原料を供給するステップと、酸化剤を供給するステップと備えていることを特徴とする成膜方法。

IPC (4件)：

H01L 21/316 , H01L 21/822 , H01L 27/04 , H01L 27/105

FI (3件)：

H01L 21/316 X , H01L 27/04 C , H01L 27/10 444 C

Fターム (14件)：

5F038AC15 , 5F038AC18 , 5F038EZ14 , 5F038EZ20 , 5F058BA11 , 5F058BA20 , 5F058BC03 , 5F058BF06 , 5F058BF27 , 5F058BF29 , 5F083FR01 , 5F083GA06 , 5F083JA14 , 5F083JA15

引用特許：

審査官引用 (4件)

化学的気相成長法及び化学的気相成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-236247 出願人：日産自動車株式会社
CVD装置及び膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-191240 出願人：松下電器産業株式会社
プロセスガス搬送用配管及び成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-285417 出願人：株式会社荏原製作所

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