特許
J-GLOBAL ID：200903069269553893

画像測定機および画像測定方法

発明者：
神藤 建太

神藤 建太 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (3件)： 三品 岩男 ,  大関 光弘 ,  西村 雅子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-002410
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212345
出願日： 2003年01月08日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】輪郭部分に高低差がある被測定物を迅速に測定できるようにする。【解決手段】画像処理部23は、被測定物4の撮像画像のうち、光学系の光軸中心に位置する第1の部分画像を用いて被測定物4の測定点No.nの座標を測定する。また、被測定物4の撮像画像に含まれる第2の部分画像を用いて、被測定物4の次の測定点No.n+1の座標を仮測定する。水平方向駆動部24は、この仮測定した座標値に光学系の光軸中心がくるように、ステージ11を移動する。また、上下方向駆動部22は、高さセンサ121からの信号に基づいて、光学系の光軸中心に位置する対象物でピントがあるように、光学系のフォーカスを制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水平方向に移動可能なステージと、 前記ステージを水平方向に移動させる駆動制御部と、 光学系を介して前記ステージ上に置かれた被測定物を撮像する撮像部と、 前記被測定物の前記光学系の光軸中心位置での高さを測定する高さ測定部と、 前記高さ測定部が測定した高さ位置で前記光学系が合焦するように、前記光学系のフォーカス制御を行なうフォーカス制御部と、 前記撮像部が撮像した前記被測定物の画像のうち、前記光学系の光軸中心に位置する前記画像の一部を部分画像として選択し、前記部分画像から前記被測定物の輪郭形状を検出して、当該輪郭の水平方向の位置を測定する画像処理部と、を有し、 前記画像処理部は、 前記撮像部が撮像した前記被測定物の画像のうち、前記光学系の光軸中心に位置する部分以外の部分画像から、前記被測定物の輪郭形状を検出して、当該輪郭の水平方向の位置を仮測定し、 前記駆動制御部は、 前記画像処理部が仮測定した水平方向の位置に、前記光学系の光軸中心が位置するように、前記ステージを水平方向に移動させること を特徴とする画像測定機。
IPC (2件)：
G01B11/24 ,  G01B11/00
FI (2件)：
G01B11/24 K ,  G01B11/00 H
Fターム (13件)：
2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065DD10 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF67 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ23 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM12 ,  2F065QQ17
引用特許：
審査官引用 (4件)
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