特許
J-GLOBAL ID：200903069339785720
アモルファス炭化水素でコーティングする方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-051831
公開番号（公開出願番号）：特開平11-246975
出願日： 1998年03月04日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、大気圧下で比較的面積の広い電気絶縁体表面に硬質で透過性の薄膜を容易にコーティングする方法を提供する。【解決手段】 本発明は、電気絶縁体表面6を化学蒸着法により被覆するコーティング方法であって、原料ガスに炭化水素系ガスを使用し、放電電極13・14と前記電気絶縁体表面6とを相対移動させながら大気圧下で放電させ、前記電気絶縁体表面6をアモルファス炭化水素薄膜で被覆することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電気絶縁体表面を化学蒸着法により被覆するコーティング方法であって、原料ガスに炭化水素系ガスを使用し、放電電極と前記電気絶縁体表面とを相対移動させながら大気圧下で放電させ、前記電気絶縁体表面をアモルファス炭化水素薄膜で被覆することを特徴とするコーティング方法。
IPC (4件)：
C23C 16/50
, C03C 17/28
, C08J 7/00 CFD
, C08J 7/00 303
C23C 16/50
, C03C 17/28 A
, C08J 7/00 CFD Z
, C08J 7/00 303
