特許

J-GLOBAL ID：200903069351678432

ウェファー移送方法および装置

発明者： ハスパー,アルベルト ,  フーセン,フランク ,  コーイイマン,コルネリス・マリヌス ,  オーステルラケン,テオドルス・ゲラルドウス・マリア ,  バン・プツテン,ジヤツク・ヘルマン ,  リツダー,クリステイアヌス・ゲラルドウス・マリア ,  スニイデルス,ゲルト-ジヤン ,  ストウトイエスデイク,ジエロエン・ジヤン ,  ジンガー,ジヤン
出願人/特許権者： エイエスエム・インターナシヨナル・エヌ・ブイ
代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-553984
公開番号（公開出願番号）：特表2002-518824
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2002年06月25日
要約：

【要約】ウェファーを移送するための装置と方法。ウェファーはカセット内に配備され、処理装置に供給するにはここから取り出さねばならない。このために、一線上に配置されそれぞれが別個の閉鎖手段によって閉じられる第1と第2の開口部を持つロック構造が提案されている。ウェファーを装填したカセットを第1開口部に当接して載置し、その閉鎖手段を閉じる。カセットの閉鎖手段を第1開口部の閉鎖手段と共にロック室内に移動させる一方、第2開口部を閉鎖し、ロック室に対してカセットと共にパージングを行う。

請求項（抜粋）：

ウェファー(13)をカセット(10)から/に対して移送するための装置であって、前記カセットを受け入れるための第1開口部(37)と、ウェファーを処理装置に移動させるための第2開口部(38)、を持つロック室(41))(lock chamber)備え、これら開口部は一線上にあり、前記開口部のひとつを閉鎖する閉鎖手段(44)(closure)が少なくともひとつあり、この閉鎖手段は前記カセットの閉鎖手段(42)を受け入れるように装備されており、前記閉鎖手段(44)とは別個にさらなる閉鎖手段(46)が設けられていることを特徴とし、またガスの供給(49)と排出(50)のための手段が前記ロック室に取りつけられていることを特徴とする、装置。

Fターム (22件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA19 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031HA67 ,  5F031MA15 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA10 ,  5F031NA16 ,  5F031PA02 ,  5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (4件)

• クリーン搬送方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-024992   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 半導体装置の製造方法および搬送インターフェース装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-312939   出願人：株式会社日立製作所
• 基板の保管方法とそのためのクリーンストッカ、真空ゲートバルブおよび搬送容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-215018   出願人：株式会社日本製鋼所
• 可搬式密閉コンテナのガスパージステーション
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-084791   出願人：神鋼電機株式会社