X線検査装置及びX線検査方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東島隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-248706
公開番号（公開出願番号）：特開2005-121633
出願日： 2004年08月27日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：

【課題】本発明は、実装が高密度な基板においても、所望の断層における情報を正確に取得することが可能なX線検査装置及びX線検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明のX線検査装置及びX線検査方法は、X線照射装置からのX線が照射される検査対象物を保持して、任意の角度と任意の方向に傾斜させる揺動動作を行う揺動装置を用い、検査対象物を通過したX線がX線検出装置において撮像されて、制御装置においてX線検出装置からのX線画像から任意の断層面のデータを抽出するよう構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

X線を発生させ、検査対象物にX線を照射するX線照射装置、前記検査対象物を通過した前記X線照射装置からのX線を検出するX線検出装置、前記X線照射装置から前記X線検出装置へのX線経路の間に前記検査対象物を保持し、前記検査対象物を前記X線経路のX線照射軸に対して任意の角度と任意の方向に駆動する揺動装置、及び前記揺動装置と前記X線照射装置を駆動制御し、前記X線検出装置からのX線画像データが入力され、前記X線画像データを表示する制御装置、を具備するX線検査装置。

IPC (2件)：

G01N23/04 , H05K3/34

FI (2件)：

G01N23/04 , H05K3/34 512B

Fターム (22件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA09 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001HA14 , 2G001JA08 , 2G001JA09 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 2G001PA12 , 2G001PA13 , 5E319AA03 , 5E319AC02 , 5E319BB05 , 5E319CC33 , 5E319CD53 , 5E319GG03 , 5E319GG20

引用特許：

出願人引用 (3件)

産業用X線CT装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-150910 出願人：株式会社島津製作所
米国特許第4926452号明細書
X線検査装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-385177 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (14件)

ラミノグラフ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-136751 出願人：株式会社東芝
2次元ならびに3次元CTシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-324847 出願人：科学技術振興事業団
部品間の接合部を検査する方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-281866 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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