特許
J-GLOBAL ID：200903069585552114
表面形状測定装置および表面形状測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-200150
公開番号（公開出願番号）：特開2004-045088
出願日： 2002年07月09日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】被測定物表面形状を正確に測定することができる表面形状測定装置および表面形状測定方法を提供する。【解決手段】被測定物表面に接触する接触部を先端に有するスタイラスおよび被測定物表面と接触部間の接触状態に依存して応答変化する検出信号を出力する検出手段を有するプローブを用いて被測定物表面形状を測定する表面形状測定装置において、接触部を被測定物表面に沿って相対移動させる倣い移動手段と、検出信号が予め設定された基準信号値に達した際の接触部の位置情報を記憶するメモリ46と、検出信号が基準信号値に達した際に、被測定物表面から検出信号に応答変化を与える応答変化要因(振動傾斜角θ)を算出する振動傾斜角算出部51と、応答変化要因を用いて位置情報を被測定物表面の実形状に補正演算する形状演算部53とを備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被測定物表面を測定する測定部を先端に有するスタイラスおよび前記被測定物表面と前記測定部間の測定状態に依存して応答変化する検出信号を出力する検出手段を有するプローブを用いて前記被測定物表面形状を測定する表面形状測定装置において、
前記測定部を前記被測定物表面に沿って相対移動させる倣い移動手段と、
前記検出信号が予め設定された基準信号値に達した際の前記測定部の位置情報をサンプリングするサンプリング手段と、
前記検出信号が前記基準信号値に達した際に、前記被測定物表面から前記検出信号に応答変化を与える応答変化要因を算出する応答変化要因算出手段と、
前記応答変化要因を用いて前記位置情報を前記被測定物表面の実形状に補正演算する形状演算手段とを備えることを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2F069AA66
, 2F069GG01
, 2F069GG72
, 2F069HH14
, 2F069JJ08
, 2F069LL02
審査官引用 (5件)
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表面形状測定方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-221243
出願人：株式会社ミツトヨ
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測定方法および装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-029560
出願人：株式会社牧野フライス製作所
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タッチ信号プローブ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-131763
出願人：株式会社ミツトヨ
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