基板検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-255164
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094754
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、小型化を実現できるとともに、被検査基板に対し精度の高い欠陥検査を効率よく行うことができる基板検査装置を提供する。【解決手段】ホルダ2の前側支点受け部13を支点部15に支持するとともに、ガイド付ボールネジ4によりホルダ2を上方向に駆動しホルダ2を立ち上げることにより被検査基板を検査者側に引き寄せた状態で、実体顕微鏡26を用いての被検査基板表面の観察を行う。

請求項（抜粋）：

被検査基板を保持する被検査基板保持部と、この被検査基板保持部の両側面中間部を回動自在に支持するとともに、前記被検査基板保持部に対し上下方向の駆動力を作用させる第1の駆動手段と、前記被検査基板保持部の前記第1の駆動手段による支持部を挟んだ両端部にそれぞれ設けられるとともに、相反関係で着脱され前記被検査基板保持部を回動支持する回動支持手段と、前記第1の駆動手段および回動支持手段を前記第1の駆動手段の駆動方向と直交する水平方向に駆動する第2の駆動手段と、前記回動支持手段により前記被検査基板保持部の一方端部を回動支持するとともに、前記第1の駆動手段により前記被検査基板保持部を上方向に駆動した状態の前記被検査基板保持部上の前記被検査基板面に対応して設けられ、前記被検査基板面の一方向に沿って移動可能に設けられた観察ユニット支持手段と、この観察ユニット支持手段に、前記被検査基板面上での前記観察ユニット支持手段の移動方向と直交する方向に移動可能に設けられたミクロ観察手段と、を具備し、前記観察ユニット支持手段の前記被検査基板面上の一方向に沿った移動と前記ミクロ観察手段の前記被検査基板面上の前記観察ユニット支持手段の移動方向と直交する方向の移動により、前記ミクロ観察手段による観察を可能にしたことを特徴とする基板検査装置。

引用特許：

審査官引用 (7件)

ウェーハ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-279586 出願人：東芝セラミックス株式会社
特開平4-095913
特開平4-315948

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