特許
J-GLOBAL ID：200903069668444011
燃料棒支持スペーサの画像解析寸法検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-205329
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055988
出願日： 1993年08月19日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 被検査物体を置き換えたり反転させたりすることなく、上下両面の寸法計測を正確に行なうことができるようにすること。【構成】 中央開口部に燃料棒支持スペーサ19を支持固定する被検査物体載置台37を、X軸方向及びY軸方向に移動可能にX-Yテーブル34に支持する。被検査物体載置台37の上方及び下方にはそれぞれZ軸方向に移動可能な顕微鏡付撮像管を配設し、被検査物体載置台に対して各顕微鏡付撮像管と反対側にこれと同一軸線上に照明光源42a,42bを設け、スペーサの透過光より得られた影の映像を画像処理装置によって画像処理し、これとX-Yテーブルの移動距離等との合成により各測定個所の寸法計測を行なう。
請求項（抜粋）：
中央開口部に燃料棒支持スペーサを支持固定する被検査物体載置台と、その被検査物体載置台をX軸方向及びY軸方向に移動可能に支持するX-Yテーブルと、上記被検査物体載置台の上方及び下方にそれぞれ配設され、それぞれZ軸方向に移動可能な顕微鏡付撮像管と、上記被検査物体載置台に対して各顕微鏡付撮像管と反対側に、各顕微鏡付撮像管と同一垂直軸線上に配設された照明光源と、上記顕微鏡付撮像管によるスペーサの透過光より得られた影の映像を処理する画像処理装置と、その画像処理装置による画像処理データとX-Yテーブルの移動距離或は顕微鏡付撮像管のZ軸方向の移動距離との合成により各測定個所の寸法計測を行なう演算装置とを有することを特徴とする、燃料棒支持スペーサの画像解析寸法検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21C 17/06 D
, G21C 3/34 C
