特許
J-GLOBAL ID：200903069774379300

セラミックスヒータ

発明者：
串橋 卓馬

串橋 卓馬 について

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岩井 良二

岩井 良二 について

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中島 亮二

中島 亮二 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-157080
公開番号（公開出願番号）：特開2001-342071
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：
【要約】【課題】 折り返し部分を有するヒータパターンの内周側の局所的な発熱、及び外周側の低温化を防止することのできる、均熱性の優れたセラミックスヒータを提供する。【解決手段】 少なくとも、電気絶縁性セラミックスからなる支持基材と、該支持基材上に折り返し部分を有するヒータパターンを形成した薄膜状の発熱層と、該発熱層を電源と接続するための端子部からなるセラミックスヒータであって、前記ヒータパターンが、少なくとも折り返し部分で電流の流れる方向に沿って複数の流路に分割されていることを特徴とするセラミックスヒータ。
請求項（抜粋）：
少なくとも、電気絶縁性セラミックスからなる支持基材と、該支持基材上に折り返し部分を有するヒータパターンを形成した薄膜状の発熱層と、該発熱層を電源と接続するための端子部からなるセラミックスヒータであって、前記ヒータパターンが、少なくとも折り返し部分で電流の流れる方向に沿って複数の流路に分割されていることを特徴とするセラミックスヒータ。
IPC (6件)：
C04B 35/583 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/12 ,  H05B 3/14 ,  H05B 3/20 328 ,  C23C 16/26
FI (7件)：
H05B 3/10 A ,  H05B 3/10 C ,  H05B 3/12 B ,  H05B 3/14 C ,  H05B 3/20 328 ,  C23C 16/26 ,  C04B 35/58 103 Y
Fターム (55件)：
3K034AA04 ,  3K034AA05 ,  3K034AA15 ,  3K034AA16 ,  3K034AA19 ,  3K034AA21 ,  3K034AA22 ,  3K034AA35 ,  3K034BA04 ,  3K034BB06 ,  3K034BC12 ,  3K034BC17 ,  3K034CA05 ,  3K034CA07 ,  3K034CA17 ,  3K034CA32 ,  3K034GA11 ,  3K034HA10 ,  3K034JA01 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB12 ,  3K092QB15 ,  3K092QB31 ,  3K092QB43 ,  3K092QB49 ,  3K092QB59 ,  3K092QB62 ,  3K092QB69 ,  3K092QB75 ,  3K092QB78 ,  3K092QC10 ,  3K092QC25 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092VV22 ,  4G001BA81 ,  4G001BA85 ,  4G001BB33 ,  4G001BC22 ,  4G001BC72 ,  4G001BC73 ,  4G001BD21 ,  4K030AA03 ,  4K030AA09 ,  4K030AA13 ,  4K030BA27 ,  4K030BA39 ,  4K030BB12 ,  4K030CA05 ,  4K030FA10 ,  4K030LA11
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 温度制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-121301   出願人：株式会社小松製作所
  • 均熱セラミックスヒーター
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-241437   出願人：信越化学工業株式会社
  • 複層セラミックスヒーター
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-025645   出願人：信越化学工業株式会社
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