ウェハ型温度センサとこれを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊藤英彦 , 森下八郎 , 吉田博由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-370811
公開番号（公開出願番号）：特開2007-171047
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：

【課題】電源を供給する必要がなくて自動化に適し、耐熱性を高め、簡単な回路でウェハの温度分布を測定できるウェハ型温度センサとこれを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法を提供する。【解決手段】ウェハ1と、ウェハ1の上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数の温度センサ2a,2b...とを備えてウェハ型温度センサ10を構成し、各温度センサ2a,2b...は、高周波信号が入力されたことに応じて、各領域ごとに異なる周波数帯域内で対応する領域の温度に基づく周波数信号を送り返す表面弾性波素子を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェハと、前記ウェハ上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数の温度センサとを備え、前記各温度センサは、高周波信号が入力されたことに応じて、前記各領域ごとに異なる周波数帯域内で対応する領域の温度に基づく周波数信号を送り返す表面弾性波素子を備える、ウェハ型温度センサ。

IPC (5件)：

G01K 7/32 , G01K 1/14 , G01K 1/02 , G08C 17/00 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01K7/32 S , G01K1/14 L , G01K1/02 E , G08C17/00 A , H01L21/66 T

Fターム (26件)：

2F056AE03 , 2F056AE05 , 2F056AE07 , 2F056CL01 , 2F056CL12 , 2F073AA02 , 2F073AB01 , 2F073AB02 , 2F073AB12 , 2F073BB01 , 2F073BC02 , 2F073CC02 , 2F073CC11 , 2F073CD04 , 2F073DD02 , 2F073DE11 , 2F073EE12 , 2F073FF01 , 2F073FG01 , 2F073GG01 , 2F073GG04 , 2F073GG05 , 4M106AA01 , 4M106CA31 , 4M106DH14 , 4M106DH18

引用特許：

出願人引用 (2件)

温度測定装置及び温度測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-317760 出願人：東京エレクトロン株式会社
ワイヤレス温度計測モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-314072 出願人：三菱マテリアル株式会社

審査官引用 (11件)

ワイヤレス温度計測モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-314072 出願人：三菱マテリアル株式会社
温度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-242213 出願人：九州日本電気株式会社
非接触温度測定装置および非接触温度測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-367070 出願人：株式会社山武

全件表示

前のページに戻る