特許
J-GLOBAL ID：200903070127929002

感光性カバ-レイフィルムおよびカバ-レイフィルムの形成法

発明者：
安野 弘

安野 弘 について

, 
渡辺 義明

渡辺 義明 について


出願人/特許権者：
宇部興産株式会社

宇部興産株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-373353
公開番号（公開出願番号）：特開2002-174896
出願日： 2000年12月07日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：
【要約】【課題】高温でのポストベ-クを必要とせず、樹脂が感光性でアルカリ性、好適には弱アルカリ水溶液でも現像可能で、ポストベ-クして得られる絶縁膜が柔軟性と耐熱性とを有している感光性カバ-レイフィルムおよびカバ-レイフィルムの形成法を提供する。【解決手段】感光性樹脂組成物から形成したフィルム状物であって、アルカリ水溶液で現像可能で、硬化物が初期弾性率1〜100kgf/mm2、好適には1〜50kgf/mm2、熱特性を示す5%重量減少率が275°C以上、好適には300〜450°Cで熱分解温度が350°C以上、好適には400°C以上である感光性カバ-レイフィルム。
請求項（抜粋）：
感光性樹脂組成物から形成したフィルム状物であって、アルカリ水溶液で現像可能で、硬化物が初期弾性率1〜100kgf/mm2、熱特性を示す5%重量減少率が275°C以上で熱分解温度が350°C以上である感光性カバ-レイフィルム。
IPC (10件)：
G03F 7/004 512 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/48 ,  C08F283/12 ,  C08K 3/00 ,  C08L 83/10 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/075 511 ,  H05K 3/28
FI (10件)：
G03F 7/004 512 ,  C08F 2/44 A ,  C08F 2/48 ,  C08F283/12 ,  C08K 3/00 ,  C08L 83/10 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/075 511 ,  H05K 3/28 D
Fターム (71件)：
2H025AA10 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC35 ,  2H025BC50 ,  2H025BC74 ,  2H025BC78 ,  2H025CA00 ,  2H025CC03 ,  2H025CC08 ,  2H025CC11 ,  2H025FA17 ,  4J002CP171 ,  4J002ER006 ,  4J002FD090 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05 ,  4J011PA09 ,  4J011PA13 ,  4J011PA43 ,  4J011PA97 ,  4J011PA99 ,  4J011PB22 ,  4J011PB25 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA03 ,  4J011QA14 ,  4J011QA34 ,  4J011QA38 ,  4J011QB18 ,  4J011QB19 ,  4J011QB24 ,  4J011QB25 ,  4J011SA01 ,  4J011SA21 ,  4J011SA31 ,  4J011SA41 ,  4J011SA51 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA65 ,  4J011SA78 ,  4J011SA80 ,  4J011TA03 ,  4J011TA06 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AB34 ,  4J026AB44 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BA39 ,  4J026CA04 ,  4J026DA02 ,  4J026DB02 ,  4J026DB24 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA08 ,  4J026GA09 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314BB02 ,  5E314CC15 ,  5E314DD06 ,  5E314FF06 ,  5E314GG08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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