特許
J-GLOBAL ID：200903070185107314

電子部品の位置合わせ装置及び方法

発明者：
新田 一法

新田 一法 について


出願人/特許権者：
トーワ株式会社

トーワ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-296100
公開番号（公開出願番号）：特開2001-119200
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 チップを固定するヘッドの回動中心とカメラの視野中心とを短時間かつ高精度に位置合わせし、チップと基板とを高精度に位置合わせする。【解決手段】 カメラ13がヘッド2に固定されたチップ1を撮影し、画像処理してチップ1の位置合わせマークMの座標Piを算出し、ヘッド2によりチップ1を2回回動させ、その都度位置合わせマークMの座標P1,P2を算出する。座標Pi,P1,P2はヘッド2の回動中心RCを中心とする円周上にあることを利用して、カメラ13の視野中心FCを原点とする回動中心RCの座標を算出し、アーム14によりカメラ13を移動して、視野中心FCを回動中心RCに一致させる。ヘッド2がチップ1を回動させ、チップ1のチップ中心を算出した後に、ステージ12に固定された基板11に、ヘッド2に固定されたチップ1を位置合わせする。
請求項（抜粋）：
位置合わせ用のマークを有する電子部品を位置合わせする位置合わせ装置であって、前記電子部品を保持する部品保持手段と、基準軸を中心にして前記部品保持手段を回動させる回動手段と、前記電子部品を撮影して前記マークを認識する認識手段と、前記基準軸を中心にして前記部品保持手段を複数回回動させる際に前記電子部品が停止している状態における前記マークの位置に基づいて、演算によって前記認識手段の視野中心を原点として前記基準軸の座標を求める演算手段と、前記求められた基準軸の座標に基づいて、前記視野中心の座標が前記基準軸の座標に一致するように前記認識手段の位置を補正する補正手段とを備えたことを特徴とする位置合わせ装置。
IPC (2件)：
H05K 13/08 ,  H05K 13/04
FI (2件)：
H05K 13/08 Q ,  H05K 13/04 M
Fターム (9件)：
5E313AA01 ,  5E313AA11 ,  5E313EE02 ,  5E313EE03 ,  5E313EE24 ,  5E313FF09 ,  5E313FF14 ,  5E313FF21 ,  5E313FF32
引用特許：
審査官引用 (4件)
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