基板処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-181806
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358197
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ウェハの搬入あるいは搬出を確実にかつ高い安全性の下で実現する。【解決手段】ウェハWを出し入れするための開口に着脱可能に取り付けられた蓋42を有するカセットCRが載置される載置台と、この載置台のカセットCR内に収容されたウェハWを処理するためのカセットステーションと、載置台上のカセットCRからウェハWを取り出してカセットステーションに搬送し、処理後のウェハWを載置台のカセットCRに戻すサブアーム機構と、サブアーム機構の側の雰囲気をカセット載置台の側の雰囲気から仕切る仕切板22と、この仕切板22の開口の方向に載置台上をカセットCRを移動させるスライドステージ91と、開口を介してカセットの開口から蓋42を取り外す蓋外し機構61と、スライドステージ91の推力を制御するX軸シリンダ92aから構成される。

請求項（抜粋）：

基板を出し入れするための開口部を持ち、この開口部に着脱可能に取り付けられた蓋を有するカセットが載置されるカセット載置台と、このカセット載置台のカセット内に収容された基板を処理するための処理部と、前記カセット載置台のカセットから基板を取り出し、前記処理部に前記基板を搬送し、処理後の該基板を前記カセット載置台の前記カセットに戻す搬送アーム機構と、この搬送アーム機構と前記カセット載置台との間に設けられ、前記搬送アーム機構の側の雰囲気を前記カセット載置台の側の雰囲気から仕切り、前記カセットの開口部よりも大きな開口を有する仕切部材と、この仕切部材の開口の方向に進退可能に配置されたカセット搬送機構と、この仕切部材の開口を介して前記カセットの開口部から蓋を取り外し、該カセットの開口部に蓋を取り付ける蓋外し機構と、前記カセットが前記仕切部材に所定の間隔に到達する前後で前記カセット搬送機構の推力を変化させる推力制御機構とを具備してなることを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , G03F 7/16 502 , G03F 7/30 502 , H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 C , G03F 7/16 502 , G03F 7/30 502 , H01L 21/30 502 J

Fターム (45件)：

2H025AB16 , 2H025EA05 , 2H096AA25 , 2H096GA29 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA14 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA36 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031JA01 , 5F031JA05 , 5F031JA08 , 5F031JA14 , 5F031JA22 , 5F031JA25 , 5F031JA32 , 5F031JA36 , 5F031JA45 , 5F031JA46 , 5F031JA51 , 5F031LA12 , 5F031LA15 , 5F031MA02 , 5F031MA04 , 5F031MA17 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031NA01 , 5F031NA03 , 5F031NA04 , 5F031NA10 , 5F031NA16 , 5F031NA17 , 5F031PA08 , 5F046CD01 , 5F046CD05 , 5F046CD07

引用特許：

審査官引用 (4件)

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