特許
J-GLOBAL ID：200903070406744250

CSP基板分割装置

発明者：
神垣 政圭

神垣 政圭 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199055
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023936
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 種々のCSP基板を1つの分割装置において分割して個々のペレットとする場合において、CSP基板に対応した適切な治具を選択して使用できるようにする。【解決手段】 CSP基板が載置される個々の治具、例えば治具14aに、治具14aを識別するための識別マーク33をCSP基板11の種類に対応して形成し、治具ラック15から治具14aを搬出する際に、識別マーク33に基づき治具14aが分割すべきCSP基板11に対応する治具であるか否かを判断する判断手段を備えたCSP基板分割装置10を提供する。
請求項（抜粋）：
CSP基板を支持する治具と、CSP基板の種類に対応した2種類以上の治具を格納する治具ラックと、該治具ラックから適宜の治具を搬出し、搬出した治具をCSP基板が載置される領域に位置付ける治具搬出入テーブルと、CSP基板を治具に載置するCSP基板載置手段と、CSP基板をペレットに分割する切削ブレードを備えた分割手段とから少なくとも構成されたCSP基板分割装置であって、個々の治具には、治具を識別するための識別マークが対応するCSP基板の種類に対応して形成されており、該治具ラックから該治具を搬出する際に、該識別マークに基づき該治具が分割すべきCSP基板に対応する治具であるか否かを判断する判断手段が含まれるCSP基板分割装置。
引用特許：
出願人引用 (7件)
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