特許
J-GLOBAL ID：200903091082515381
CSP基板分割装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195719
公開番号（公開出願番号）：特開2001-024003
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 CSP基板をペレットに分割し、搬送トレーに収容する作業を効率良く行い、生産性を高める。【解決手段】 CSP基板11を支持する治具14aと、治具ラック15と、搬出した治具をCSP基板が載置される領域に位置付ける治具搬出入テーブル36と、カセット13が載置されるカセット載置テーブル12と、CSP基板搬出手段53と、CSP基板を治具搬出入テーブル上の治具に載置するCSP基板載置手段55と、CSP基板を加工テーブル61まで搬送する第一の搬送手段60と、CSP基板をペレットに分割する分割手段68と、CSP基板を加工テーブルから洗浄テーブル70まで搬送する第二の搬送手段69と、CSP基板を洗浄テーブルからペレットピックアップテーブル75まで搬送する第三の搬送手段74と、ペレットをピックアップし、ペレット移し替え領域80に位置付けられた搬送トレー86に移し替える移し替え手段81と、空になった治具をペレットピックアップテーブルから治具搬出入テーブルまで搬送する第四の搬送手段89とから構成されるCSP基板分割装置。
請求項（抜粋）：
CSP基板を個々のペレットに分割して搬送トレーに移し替えるCSP基板分割装置であって、CSP基板を支持する治具と、CSP基板の種類に対応した2種類以上の治具を格納する治具ラックと、該治具ラックから適宜の治具を搬出し、搬出した治具をCSP基板が載置される領域に位置付ける治具搬出入テーブルと、CSP基板を収容したカセットが載置されるカセット載置テーブルと、該カセットからCSP基板を搬出するCSP基板搬出手段と、搬出したCSP基板を該治具搬出入テーブル上の治具に載置するCSP基板載置手段と、該治具搬出入テーブル上の治具に載置されたCSP基板を治具と共に加工テーブルまで搬送する第一の搬送手段と、該加工テーブルに保持されたCSP基板をペレットに分割する切削ブレードを備えた分割手段と、ペレットに分割されたCSP基板を治具と共に該加工テーブルから洗浄テーブルまで搬送する第二の搬送手段と、洗浄済みのCSP基板を治具と共に洗浄テーブルからペレットピックアップテーブルまで搬送する第三の搬送手段と、該ペレットピックアップテーブル上の治具からペレットをピックアップし、ペレット移し替え領域に位置付けられた搬送トレーに移し替える移し替え手段と、ペレットがピックアップされることにより空になった治具を該ペレットピックアップテーブルから該治具搬出入テーブルまで搬送する第四の搬送手段とから少なくとも構成されるCSP基板分割装置。
IPC (4件)：
H01L 21/50
, H01L 21/68
, H01L 21/301
, H01L 23/12
H01L 21/50 C
, H01L 21/68 B
, H01L 21/78 A
, H01L 23/12 L
5F031CA02
, 5F031CA13
, 5F031CA17
, 5F031DA05
, 5F031DA17
, 5F031FA03
, 5F031FA11
, 5F031GA10
, 5F031GA15
, 5F031GA23
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031JA02
, 5F031JA04
, 5F031MA23
, 5F031MA34
, 5F031PA09
