特許
J-GLOBAL ID：200903070451842947

照明光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法

発明者：
小松田 秀基

小松田 秀基 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-283637
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092253
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 主としてコンデンサーレンズのディストーションを全く変化させることなしに、照度分布の2次成分を無段階に調整することができる照明光学系及び当該照明光学系を備える露光装置を提供する。【解決手段】 露光光源1から射出される露光光ILの光路上に設けられ、光軸IAXを横切る方向に3次以上の関数を含む関数で表される透過率分布を有する少なくとも2つのフィルタ部材14a,14bを備える。
請求項（抜粋）：
光源から射出される光を被照射物体に照射する照明光学系において、前記光源から射出される光の光路上に、当該光路を横切る方向に3次以上の関数を含む関数で表される透過率分布を有する少なくとも2つのフィルタ部材を備えることを特徴とする照明光学系。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00
FI (4件)：
G02B 19/00 ,  G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (7件)：
2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  5F046CB08 ,  5F046CB12 ,  5F046DA02
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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