特許
J-GLOBAL ID：200903053929334410
照明光学装置及び投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002731
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312639
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】 被照射面上において照度の均一性と照明開口数の均一性の双方を同時に高めること。【解決手段】 光源1からの光束を用いて2次光源を形成するフライアイレンズ5と、2次光源からの光束を用いて被照射面(レチクル9やウエハ11)を照明するコンデンサー光学系6とを有する照明光学装置であって、被照射面上の各点から見た2次光源の開口数が実質的に等しくなるようコンデンサー光学系を構成すると共に、被照射面上の照度を均一にするためのNDフィルター51を備える。
請求項（抜粋）：
光源からの光束を用いて2次光源を形成する2次光源形成手段と、前記2次光源からの光束を用いて被照射面を照明する光学手段とを有する照明光学装置であって、前記被照射面上の各点から見た前記2次光源の開口数が実質的に等しくなるようにすると共に、前記被照射面上の照度を均一にすることを特徴とする照明光学装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G02B 3/00
, G02B 3/08
, G02B 19/00
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 D
, G02B 3/00 A
, G02B 3/08
, G02B 19/00
, G03F 7/20 521
