特許
J-GLOBAL ID：200903070666989680
真空ピンセット
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-310934
公開番号（公開出願番号）：特開2005-074606
出願日： 2003年09月03日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】 積層状態にしたウエハ又はウエハと保護シートなどの極薄な吸着対象物に対し、吸着板の吸着面に沿って圧縮空気をほぼ水平状に噴射し、ベルヌーイの定理で吸着保持を容易且つ確実にするとことを目的とする。【解決手段】 ピンセット本体2,3の先端側には吸着板7に多数の吸着口13を設けた吸着保持部4を装着した手持ち式であって、吸着板7の吸着面に沿ってほぼ水平状に圧縮空気を噴射する噴射ノズル23を設けたことを特徴とする真空ピンセット1である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ピンセット本体の先端側には吸着板に多数の吸着口を設けた吸着保持部を装着した手持ち式であって、前記吸着板の吸着面に沿ってほぼ水平状に圧縮空気を噴射する噴射ノズルを設けたことを特徴とする真空ピンセット。
IPC (5件)：
B25J1/00
, B25J15/06
, B65G49/07
, B65H5/14
, H01L21/68
B25J1/00
, B25J15/06 Z
, B65G49/07 H
, B65H5/14 Z
, H01L21/68 C
3C007BS29
, 3C007FS04
, 3C007FT12
, 3C007GS01
, 3C007GS11
, 3C007NS09
, 3C007NS10
, 3C007XF06
, 3F101CE24
, 3F101LA16
, 3F101LB12
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA30
, 5F031GA28
, 5F031GA35
, 5F031GA40
, 5F031GA69
, 5F031PA08
, 5F031PA18
