二重外部共振器つきレーザダイオード式距離・変位計

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：井ノ口壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-151435
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330669
出願日： 2000年05月23日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】本発明は、二重外部共振器により測定誤差を補正したレーザダイオード式距離・変位計を提供する。【解決手段】本発明は、1本のレーザダイオード3を利用して、その出射光を対象物体7に当てると同時に、その光路の途中に半透明ミラー(参照反射器)6を置いて反射光を得ることにより、オンラインで戻り光をレーザダイオード3に内蔵のホトダイオード2に入射することによりFFT法により対象物体位置とミラー位置とを特定する。これにより、測定系に存在するサブミクロンオーダの誤差を除去することができる。

請求項（抜粋）：

内部に監視用ホトダイオードを備えたレーザダイオードと、前記レーザダイオードの発光面に面して配置され、前記レーザダイオードから出力された光ビームを整列させ平行光を得るためのレンズと、前記レーザダイオードから前記レンズを介して得られた平行光の一部を反射して前記レーザダイオードに付属された前記ホトダイオードに戻り光を入力し、対象物体の距離・変位の測定に必要な位相基準を形成するための参照反射器と、前記レーザダイオードに直流電流および変調電流を流して発光を得るためのレーザダイオード駆動装置と、および前記ホトダイオードに接続され、前記ホトダイオードに入力された戻り光に含まれた前記距離・変位の情報と前記位相基準の情報とを解析して前記対象物体の前記距離・変位を求めるための位相演算装置と、から構成した二重外部共振器つきレーザダイオード式距離・変位計。

IPC (5件)：

G01S 17/36 , G01B 11/00 , G01S 17/88 , H01S 5/14 , G01B 11/24

FI (5件)：

G01S 17/36 , G01B 11/00 B , H01S 5/14 , G01S 17/88 B , G01B 11/24 A

Fターム (43件)：

2F065AA06 , 2F065AA09 , 2F065EE00 , 2F065FF13 , 2F065FF51 , 2F065FF61 , 2F065GG06 , 2F065HH03 , 2F065JJ01 , 2F065JJ18 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065MM03 , 2F065NN02 , 2F065NN08 , 2F065NN17 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065QQ01 , 2F065QQ03 , 2F065QQ16 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 5F073AB21 , 5F073AB27 , 5F073AB28 , 5F073AB29 , 5F073BA09 , 5F073FA02 , 5F073GA12 , 5F073GA24 , 5J084AA05 , 5J084BA04 , 5J084BA36 , 5J084BA51 , 5J084BB02 , 5J084BB31 , 5J084CA08 , 5J084CA31 , 5J084CA49 , 5J084EA04

引用特許：

審査官引用 (11件)

特表平7-501401
レーザ距離計
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-103742 出願人：スズキ株式会社
特開昭59-048668

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