特許
J-GLOBAL ID：200903070835285492

欠陥検出装置、配線領域抽出装置、欠陥検出方法および配線領域抽出方法

発明者：
佐野 洋

佐野 洋 について

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西原 栄治

西原 栄治 について

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永田 泰史

永田 泰史 について

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今村 淳志

今村 淳志 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-143794
公開番号（公開出願番号）：特開2005-326226
出願日： 2004年05月13日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：
【課題】基板の画像中の配線領域を容易に抽出し、これにより、基板上に形成されたパターンの欠陥を適切に検出する。【解決手段】基板9上に形成された配線を含むパターンを示す参照2値画像において、配線領域に対応する画素値と同じ画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得し、収縮画像中に残存する注目領域に収縮処理を同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像が取得される。続いて、収縮・膨張画像と参照2値画像との差分画像が、配線領域を示す配線画像として生成される。これにより、微細パターン領域である配線領域を容易に抽出することができる。また、配線画像に基づいて配線領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定し、欠陥検出感度に従いつつ被検査画像中の欠陥を検出することにより、基板9上のパターンの欠陥を適切に検出することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された幾何学的なパターンの欠陥を検出する欠陥検出装置であって、 基板を撮像する撮像部と、 前記撮像部にて取得された被検査画像に基づく被検査2値画像および参照2値画像のうちの一方の画像中の特定の画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得し、前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する収縮・膨張部と、 前記収縮・膨張画像と前記一方の画像との差分画像を微細パターン領域を示す微細パターン画像として生成する微細パターン領域取得部と、 前記微細パターン領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定する検出感度設定部と、 前記欠陥検出感度に従いつつ前記被検査画像中の欠陥を検出する欠陥検出部と、 を備えることを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (6件)：
G01N21/956 ,  G01B11/24 ,  G06T1/00 ,  G06T5/00 ,  G06T7/00 ,  H05K3/00
FI (7件)：
G01N21/956 B ,  G06T1/00 305A ,  G06T5/00 200Z ,  G06T7/00 200A ,  H05K3/00 Q ,  G01B11/24 F ,  G01B11/24 K
Fターム (39件)：
2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ34 ,  2F065RR09 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051EA11 ,  2G051EA17 ,  2G051ED01 ,  2G051ED04 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CF01 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB08 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096EA02 ,  5L096EA43 ,  5L096GA08 ,  5L096GA10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (11件)
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