特許
J-GLOBAL ID：200903070870186669
循環型クリーンルーム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
遠山 勉 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161556
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346416
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 清浄度の高い清浄空間を適宜設定可能であるとともに構築が容易な循環型クリーンルームを提供すること。【解決手段】 ケミカルフィルタ9を通ったエアをULPAフィルタ6に通してから清浄空間1に供給する上部プレナムチャンバ2と、清浄空間1のクリーンエアを吸い込む下部プレナムチャンバ3と、上部プレナムチャンバ2及び下部プレナムチャンバ3とを連結するリターンシャフト4とを複数のユニットの集合体でそれぞれ構成するとともに、上部プレナムチャンバ2、下部プレナムチャンバ3、及びリターンシャフト4によって、清浄空間1へのクリーンエアの循環通路を構成した。
請求項（抜粋）：
清浄空間からの還気エア中の汚染物質を除去する空気浄化手段と、前記清浄空間へ前記エアを供給するサプライプレナムチャンバと、を備え、前記清浄空間・前記空気浄化手段・前記サプライプレナムチャンバによって前記エアの循環経路を構成する循環型クリーンルームにおいて、前記サプライプレナムチャンバは、前記エアの通路を形成するサプライ接続ダクトと、前記エアを前記清浄空間内へ送風するクリーンエア送風口と、を有する複数のサプライチャンバボックスユニットの集合体で構成されていることを特徴とする循環型クリーンルーム。
Fターム (4件)：
3L058BF01
, 3L058BF06
, 3L058BF07
, 3L058BG03
