特許

J-GLOBAL ID：200903071057710284

高周波またはマイクロ波透過窓

発明者： 鈴木 敦 ,  大滝 浩通 ,  岸 幸男
出願人/特許権者： 株式会社日本セラテック ,  太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-201202
公開番号（公開出願番号）：特開2001-028502
出願日： 1999年07月15日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 プラズマに対する耐食性が高く、プラズマによってパーティクルが発生し難く、かつ発熱、割れ等が発生し難い高周波またはマイクロ波透過窓を提供すること。【解決手段】 高周波またはマイクロ波によりプラズマ処理を行うプラズマ処理装置に装着される高周波またはマイクロ波透過窓であり、中心線平均表面粗さが2μm以下、10MHz〜10GHzの範囲の高周波領域で誘電損失tanδが5×10-3以下のセラミックス焼結体からなる。

請求項（抜粋）：

高周波またはマイクロ波によりプラズマ処理を行うプラズマ処理装置に装着される高周波またはマイクロ波透過窓であって、中心線平均表面粗さが2μm以下、10MHz〜10GHzの範囲の高周波領域で誘電損失tanδが5×10-3以下のセラミックス焼結体からなることを特徴とする高周波またはマイクロ波透過窓。

IPC (4件)：

H01P 1/08 ,  C04B 35/115 ,  C04B 35/44 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

H01P 1/08 ,  C04B 35/10 C ,  C04B 35/44 ,  H01L 21/302 B

Fターム (17件)：

4G030AA12 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030BA33 ,  4G031AA08 ,  4G031AA29 ,  4G031AA30 ,  4G031BA26 ,  5F004AA16 ,  5F004BA14 ,  5F004BA20 ,  5F004BB11 ,  5F004BB14 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA26 ,  5J011FA00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 高周波導入窓材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-098684   出願人：京セラ株式会社
• マイクロ波管用出力部窓材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-121520   出願人：日本電気株式会社
• アルミナ質焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-284930   出願人：京セラ株式会社
• プラズマ処理装置における予熱方法及びプラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-182815   出願人：住友金属工業株式会社