特許
J-GLOBAL ID：200903071079852384

化学増幅型レジスト用共重合体の製造方法

発明者：
藤原 匡之

藤原 匡之 について

, 
遠山 昌之

遠山 昌之 について

, 
脇阪 幸也

脇阪 幸也 について

, 
西田 耕二

西田 耕二 について


出願人/特許権者：
三菱レイヨン株式会社

三菱レイヨン株式会社 について


代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-175977
公開番号（公開出願番号）：特開2001-002717
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 非常に高感度な化学増幅型レジスト組成物のレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法を提供する。【解決手段】 酸の作用によりアルカリに対する溶解性が変化するレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法であって、重合開始剤として下記式1から8からなる群より選ばれる少なくとも1種を使用して重合を行うことを特徴とする共重合体の製造方法。(式(1)〜(8)中、R1〜R22は、水素、炭素数1〜10の飽和脂肪族炭化水素基、または炭素数1〜10のアルキルエステル基を表す。但し、R1とR2、およびR3とR6はそれぞれいっしょになって、それらが結合している炭素原子と共に員数5〜10の飽和脂肪族単環を形成していてもよい。また、nは、1〜5の整数を表す。)
請求項（抜粋）：
酸の作用によりアルカリに対する溶解性が変化するレジスト用樹脂として用いられる共重合体の製造方法であって、重合開始剤として下記式(1)から(8)からなる群より選ばれる少なくとも1種を使用して重合を行うことを特徴とする共重合体の製造方法。【化1】(式(1)〜(8)中、R1〜R22は、水素、炭素数1〜10の飽和脂肪族炭化水素基、または炭素数1〜10のアルキルエステル基を表す。但し、R1とR2、およびR3とR6はそれぞれいっしょになって、それらが結合している炭素原子と共に員数5〜10の飽和脂肪族単環を形成していてもよい。また、nは、1〜5の整数を表す。)
IPC (5件)：
C08F 4/00 ,  C08F 20/10 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
C08F 4/00 ,  C08F 20/10 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (39件)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J015AA02 ,  4J015BA05 ,  4J015BA06 ,  4J015BA07 ,  4J015BA08 ,  4J015BA11 ,  4J100AJ02Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL09Q ,  4J100BA06Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC37P ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100DA39 ,  4J100FA03 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM