特許
J-GLOBAL ID：200903071082518851

集積化太陽電池の製造方法

発明者：
林 克彦

林 克彦 について


出願人/特許権者：
鐘淵化学工業株式会社

鐘淵化学工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173546
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026797
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 第1電極層のレーザスクライブによるガラス強度の低下を低減し、かつ第1電極層のシート抵抗を小さくし、高い機械的強度かつ高い光電変換効率のガラス基板一体型集積化薄膜太陽電池を得る。【解決手段】 高パワーでの第1電極層レーザスクライブの後、低抵抗化処理を兼ねて大気中または低酸素濃度の窒素雰囲気でアニールする。アニールによりガラス割れの原因となるマイクロクラックの形状が鈍化し、ガラスの強度が向上するとともに窒素雰囲気中でのアニールでは第1電極層のシート抵抗を小さくできる。
請求項（抜粋）：
ガラス基板に、順次積層された第1電極層、半導体層および第2電極層が複数の光電変換セルを形成するように実質的に直線状で互いに平行な複数の分割線によって分割されていてかつそれらの複数のセルが電気的に直列接続された集積化太陽電池の製造方法であって、第1電極層として透明導電膜をガラス基板上に成膜した後、レーザスクライブにより第1電極層の該分割線を形成した後、300°C以上で熱処理を行うことを特徴とする集積化太陽電池の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 31/042 ,  H01L 31/04
FI (2件)：
H01L 31/04 C ,  H01L 31/04 M
引用特許：
審査官引用 (19件)
  • 特開昭63-284871
  • 特開昭63-287076
  • 光起電力装置及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-147654   出願人：三洋電機株式会社
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