特許
J-GLOBAL ID：200903071089438489
電子ビーム露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-304229
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110530
出願日： 2000年10月03日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：
【要約】【課題】 ミラーの傾きを算出し、ミラーの傾きによるステージの移動誤差を補正し、精度良く電子ビームを露光することが可能な電子ビーム露光装置を提供する。【解決手段】 電子ビームをステージのマークに照射し、放射電子の電子量を検出し、検出した電子量に基づいてステージの位置を算出する第1位置算出部と、ステージの側面に設けられたミラーにレーザ光を照射し、レーザ光の反射光に基づいてステージの位置を算出する第2位置算出部とを備え、第1位置算出部と第2位置算出部とが算出するそれぞれの位置の誤差に基づいて、ステージに設けられたミラーの傾きを算出することが可能となる。また、算出したミラーの傾き等に基づいて電子ビームの偏向を制御し、ミラーの傾き等によるステージの移動誤差を補正することにより、精度よく電子ビームを露光することが可能となる。
請求項（抜粋）：
電子ビームにより、ウェハを露光する電子ビーム露光装置であって、前記電子ビームを発生させる電子銃と、前記電子ビームを前記ウェハの所望の位置に偏向させる偏向器と、前記電子ビームの照射方向と略垂直な平面に対して略垂直なミラーを有し、前記ウェハを載置し、前記平面を移動するステージと、前記ステージを移動させるステージ駆動部と、前記ステージにおいて、前記電子ビームが照射される面に設けられ、前記電子ビームを照射することにより、前記ステージの位置を検出するためのマーク部材と、前記マーク部材に照射された前記電子ビームにより、前記マーク部材から放射された電子量を検出し、前記電子量に対応した検出信号を出力する放射電子検出部と、前記検出信号に基づいて前記ステージの位置を算出する第1位置算出部と、前記ミラーにレーザ光を照射するレーザ光照射部と、前記ミラーにおける前記レーザ光の反射光に基づいて前記ステージの位置を算出する第2位置算出部と、第1の位置において前記第1位置算出部が算出した前記ステージの位置を基準とする、前記第1の位置と異なる第2の位置において前記第1位置算出部が算出した前記ステージの位置の相対位置と、前記第1の位置において前記第2位置算出部が算出した前記ステージの位置を基準とする、前記第2の位置において前記第2位置算出部が算出した前記ステージの相対位置との差に基づいて、前記ミラーと前記ステージの移動すべき方向との傾きを算出するミラー傾き算出部とを備えることを特徴とする電子ビーム露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
, H01J 37/147
G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
, H01J 37/147 C
, H01L 21/30 541 K
2H097AA03
, 2H097BA10
, 2H097BB10
, 2H097CA16
, 2H097KA01
, 2H097KA11
, 2H097KA20
, 2H097KA29
, 2H097LA10
, 5C033GG03
, 5C033NN01
, 5F056BB01
, 5F056BD02
, 5F056CB22
, 5F056CB40
