特許
J-GLOBAL ID：200903071147580355
酸化物単結晶の製造方法。
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
長谷川 芳樹
, 清水 義憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-119786
公開番号（公開出願番号）：特開2009-132594
出願日： 2008年05月01日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：
【課題】原料に含まれる不純物を十分に低減でき、優れた品質の酸化物単結晶を効率的に製造可能な酸化物単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】酸化物単結晶の製造に使用する原料を加熱して融液18を得る溶融工程と、融液状態を保持することにより融液に含まれる不純物を低減させる不純物除去工程と、この不純物除去工程を経た原料の融液18から酸化物単結晶1を製造する単結晶育成工程とを備える。前記不純物除去工程において融液状態の保持は、圧力1.0×10-4〜1.0Paの減圧雰囲気下又はAr、Ne、Kr及びN2からなる群より選ばれる1種以上のガス種を含有する不活性ガス雰囲気下、あるいはさらに酸素を0.01〜20体積%混合した不活性ガス雰囲気下にて行い、保持時間は1〜1000時間とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酸化物単結晶の製造に使用する原料を加熱して融液を得る溶融工程と、
融液状態を保持することにより前記融液に含まれる不純物を低減させる不純物除去工程と、
前記不純物除去工程を経た原料の融液から酸化物単結晶を製造する単結晶育成工程と、
を備える酸化物単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (21件)：
4G077AA02
, 4G077BB01
, 4G077BB03
, 4G077BB07
, 4G077BC01
, 4G077BC13
, 4G077BC31
, 4G077BC38
, 4G077BC40
, 4G077BC41
, 4G077BC42
, 4G077BC43
, 4G077BD03
, 4G077BD07
, 4G077CF10
, 4G077EA04
, 4G077EA06
, 4G077EA07
, 4G077EB06
, 4G077PA03
, 4G077PA16
出願人引用 (8件)
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特公平02-014284号公報
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特公平04-055154号公報
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フッ化物結晶の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-148961
出願人：キヤノン株式会社
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審査官引用 (1件)
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