特許
J-GLOBAL ID：200903071261225310
液晶表示装置の製造装置及び製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-092189
公開番号（公開出願番号）：特開2000-284247
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 水切り装置部における吹き出しユニットの結露及び乾燥装置部からの熱が水切り装置部へ流れ込むことを防止し、品質の安定した生産及び装置寿命の延命を図る。【解決手段】 洗浄装置部Iにてスプレー21により水洗処理されたフィルム液晶表示基板10は水切り装置部IIへと搬送されてくる。水切り装置部IIでは乾燥空気の吹き出しユニット11a,11bから吹き出されるナイフ状のエアーによりフィルム液晶表示基板に付着している水滴を除去する。吹き出しユニット11bには、乾燥装置部III側に設置してあるエアーノズル22から該吹き出しユニット11bの乾燥装置側の側面に乾燥空気が吹き付けられ(矢印A)、吹き出しユニット表面の結露の発生を抑える。また、垂直方向(矢印B)にエアーを吹き出すことでエアーカーテンを形成し、水切り装置部IIで使用している樹脂製のユニットの熱変形を防止する。
請求項（抜粋）：
水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗された液晶基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該液晶基板に付着している水滴を除去し、乾燥する工程を含む液晶表示装置において、前記水切装置部は、前記液晶基板の搬送方向を横切る方向に延長するスリットから乾燥空気を吹き出す乾燥空気吹き出しユニットと、該吹き出しユニットの外側に乾燥空気を吹き付けるエアーノズルとを有することを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
IPC (2件)：
G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
2H088FA17
, 2H088FA21
, 2H088FA27
, 2H088FA29
, 2H088FA30
, 2H088MA20
, 2H090JB03
, 2H090JC01
